12吋单片湿法刻蚀清洗设备

设备型号：FY-3000S晶圆尺寸：300mm腔体：4~24 个腔体（可定制）；Vacuum or Grip方式；可靠性能：Uptime≥95%；Breakage≤1/100000；MTBF≥500 hours；MTTR≤3 hours 软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能。