励兆科技完成数千万Pre-A轮融资，Monolith砺思资本、中芯聚源、临港科创投出手

投资界（ID：pedaily2012）9月4日消息，半导体设备关键零部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技宣布

完成数千万元人民币Pre-A轮融资Monolith砺思资本、中芯聚源、临港科创投参与本轮投资。

，并邀请到前爱思强中国区总经理宋伟加入创业团队担任副总裁。

励兆科技成立于2022年8月，位于上海市闵行区，是一家专注于半导体工艺设备领域的射频和等离子系统供应商。

励兆科技的创始团队来自海内外知名高校和研究机构，拥有多年先进半导体设备开发经验，超过十年的射频电源系统研发和制造经验，在基础研究，产品开发，工艺应用和市场拓展等多个方面有着深厚的积累。公司首席科学家是上海交大副教授/博导，曾在美国顶级学府从事高频电力电子的研究。

公司副总裁宋伟是前爱思强中国区总经理，毕业于北航。在加入励兆科技之前，曾先后在美国维利安(Varian)、美国应用材料(AMAT)、美国万机(MKS)、美国柯狄(Kateeva)和德国爱思强(AIXTRON)等多家欧美知名公司担任中国区总经理或销售总监等高管职位。

励兆科技的主要产品是等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源(RPS)系统，而这些产品的基本作用就是在相关半导体工艺设备中产生等离子体并达成相关各种工艺。针对这些技术要求，励兆科技成立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产品，部分关键性能参数已达到国际先进水平，比如功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合独有MOFT调频功能(模型导向的自动调频技术)，能实现亚毫秒量级的高速阻抗匹配，可以有效地满足多种工艺的需求，在国内率先为先进蚀刻和原子层沉积等工艺提供了可选方案。同时在远程等离子源(RPS)领域，公司正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产品，预计在年底可为关键客户送样测试。

励兆科技创始人赵馗表示，励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法技术上都具有较深积累和完备的布局。高频电力电子是射频技术的一种，其人才在全球都非常稀缺，半导体射频电源要求兆赫兹级别的电力电子技术。公司核心成员从2012年便开始深耕这个领域的研究，是国际上为数不多的华人专家之一。

公司副总裁宋伟表示：“在半导体产业安全要求和实际市场需求的背景下，射频等离子领域需要一只高质量高效率的科学家背景团队来尽快突破国内技术的天花板，挑战并最终超越国际市场上的产业龙头。”因此，在产品初步开发成功后，他便加入了励兆科技，期望以丰富的市场应用经验推动励兆的快速发展。

励兆团队表示，在目前复杂国际形势下，从根本上解决国产半导体设备的整体供应链安全问题刻不容缓。励兆科技的愿景是依托自身扎实的产业技术背景，创造一家世界级的中国射频等离子解决方案企业。

Monolith砺思资本表示，射频电源是产生等离子体的核心器件，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的必要设备。目前，射频电源几乎完全依赖进口，亟需国产化。励兆科技是国内少有的国际领先的研发团队，同时又有深厚的上下游产业积累，对于攻克其中的技术问题，顺利商业化大有帮助。砺思看好射频电源方向的国产化前景，相信励兆能成为未来行业标杆。